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本发明缩短对准动作所花费的时间，且本发明包括：切断用工作台2A、切断用工作台2B，保持设置有对准标记AM的密封完毕基板W并且能够旋转；切断机构4，将保持于切断用工作台2A、切断用工作台2B的密封完毕基板W切断；基准标记M1，设置于切断用工作台2A、切断用工作台2B，且与切断用工作台2A、切断用工作台2B的旋转中心RC的相对位置已知；以及摄像照相机24，拍摄基准标记M1及对准标记AM，使摄像照相机24相对于密封完毕基板W在一方向移动的同时拍摄对准标记AM，基于所拍摄的对准标记AM及基准标记M1，进
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116829308 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202180093007.0 (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理
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