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本发明涉及一种易维修气密集成光电探测器,属于光电探测技术领域。该光电探测器包括盖板、光纤组件、光电探测芯片、射频芯片以及陶瓷基板。其中光电探测芯片及射频芯片固定在陶瓷基板上,光纤组件与光电探测芯片连接;盖板焊接在陶瓷基板上,且覆盖光电探测芯片、射频芯片和光纤组件。所述盖板用于光电探测器内部器件的保护和实现气密性;所述光纤组件用于光信号的输入和实现光电探测器的气密性;所述光电探测芯片用于调制光信号的解调,射频芯片用于信号放大以及幅度调整;所述陶瓷基板用于信号传输和实现自发热功能。本发明具有良好的气
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116825775 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202310811187.2 H01L 23/02 (2006.01)
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