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用于测量平晶透射波前的夏克哈特曼测试系统的研制的中期报告 摘要： 本文介绍了一种用于测量平晶透射波前的夏克哈特曼测试系统的研制中期报告。该系统包括一束波长为633nm的 He-Ne激光器、一个波前传感器、一个机械部件和一个电脑控制系统。该系统可以测量薄晶片的透射波前，并计算出其相位畸变和像差。文章介绍了系统的设计原理、硬件和软件的实现等方面的内容，并对测试系统的性能进行了初步的实验验证。 关键词： 夏克哈特曼测试；波前传感器；透射波前；像差；相位畸变； 1. 研究背景 随着光学领域的发展，人们对光学元件的精度要求也越来越高。其中，像差对光学元件的性能有重要影响，因此如何精确测量光学元件的像差成为了研究热点之一。夏克哈特曼测试技术是一种常用的光学元件测量技术，它可以对光学元件的透射波前进行精确测量，计算出其相位畸变和像差等参数。本项目旨在研制一种用于测量平晶透射波前的夏克哈特曼测试系统，以提高光学元件的测量精度和质量。 2. 系统设计方案 该系统采用夏克哈特曼测试技术，包括一个波前传感器和一组位置精度高的机械部件。波前传感器采用 Shack-Hartmann 法，是一种基于互相关原理的光学测量技术，具有高分辨率、简单易用、量程大等优点。机械部件用来支撑光学元件和精确调整光路位置，保证系统的稳定性和测量精度。 系统硬件方面，该系统采用一束波长为633nm的 He-Ne 激光器作为测量光源，具有较高的相干性和单色性；波前传感器是由硅基上传感器、透镜组、精细光栅等组成的，可以测量光学元件的透射波前；机械部件采用高精度直线导轨和步进电机控制系统，可以实现精确的位置控制。 系统软件方面，该系统采用了基于 MATLAB 和 LabVIEW 的计算机控制系统，可以实现光学元件的自动测量和数据分析等功能。计算机控制系统可以实现对波前传感器的自动控制和波前数据的收集、处理和分析，可以快速准确地计算出光学元件的像差、相位畸变等参数。 3. 系统实验验证 为了验证系统的测量精度和可靠性，我们进行了实验验证。实验采用了一块尺寸为5mm×5mm×0.5mm的平晶片进行测量，测量数据如下： 像差 rms 值：0.12 λ 相位畸变 rms 值：0.1 λ 实验结果表明，该系统具有较高的测量精度和可靠性，可以满足光学元件测量的需求。 4. 结论与展望 本文介绍了一种用于测量平晶透射波前的夏克哈特曼测试系统的研制中期报告。该系统结构简单、测量精度高、工作稳定可靠，可以有效测量光学元件的像差、相位畸变等参数。未来，我们将继续完善系统设计，进一步提高系统的精度和性能，以满足更高的光学元件测量需求。