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本发明公开了一种射频离子源放电室内气体电离临界条件的计算方法，包括如下步骤：确定线圈几何形状及其相关参数，确定射频频率，确定放电室内的压强值p，计算出线圈内均匀磁场和磁通，计算出电动势V的值，确定线圈内在的方向上的感应电场，建立放电室内气体电离临界条件的模型，计算出线圈中通入直流电流的临界范围，判断临界范围的最小值是否满足，如不满足则重复上述步骤，直至临界范围的最小值满足要求。本发明的有益效果是：解决了射频离子源设计与运行过程中放电室内气体电离临界条件不可知的问题，实现对线圈的几何形状及相关参数
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116821565 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202311094179.7
(22)申请日 2023.08.29
(71)申请人 江苏鹏举半导体设备技术有限公司
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