用于沉积含硅膜的有机氨基官能化环状低聚硅氧烷.pdfVIP

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本文公开了有机氨基官能化环状低聚硅氧烷，其具有至少两个硅和两个氧原子以及有机氨基，且公开了用于制备所述有机氨基官能化环状低聚硅氧烷的方法。还公开了使用所述有机氨基官能化环状低聚硅氧烷沉积含硅和氧的膜的方法。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116813661 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310767408.0 C23C 16/40 (2006.01)

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