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本发明提供了一种用于合成氮化硅粉体的反应器,涉及氮化硅生产技术领域,包括底座,底座上设有硅块粉碎球磨机构、反应器主体、氮化硅粉块球磨机构和规格筛选机构;硅块粉碎球磨机构内设有粉碎径粒筛选板和球磨径粒筛选网。本发明先将硅块粉碎到预设径粒后,再对其进行球磨,在球磨前增加粉碎的步骤,极大的缩短了球磨所用的时间,同时设置球磨径粒筛选网,可对硅粉的径粒进行筛选,保证硅粉径粒在达到预设径粒的时候自动落入输料绞龙,规格筛选机构的设计可对Si3N4细粉进行规格筛选,并将不同规格的Si3N4细粉分类打包,从而提高
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116808997 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202310778151.9 B01J 19/00 (2006.01)
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