高温超导微波延迟线的制备及测试研究的中期报告.docx

高温超导微波延迟线的制备及测试研究的中期报告 中期报告 目前，我已经完成了高温超导微波延迟线（HTS-TWL）制备的一系列工作，包括样品设计、金属化陶瓷基板的制备、HTS薄膜的制备和微波元器件的制备等方面。同时，我也完成了对样品的初步测试和性能分析的工作。 首先，我设计了一种包含YBaCuO（YBCO）薄膜的双微带线（TML）结构作为HTS-TWL的样品。该样品采用了金属化陶瓷基板（LTCC）作为载体，在基板上分别制备了两条宽度为80微米、间距为300微米的铜微带线，并在微带线上各镀上一层20 nm厚的金属层（用于防止氧化）。随后我们利用物理气相沉积（PVD）技术在金属层上生长了一层约300 nm的YBCO薄膜。最后，我们通过光刻及电子束蒸发技术将薄膜加工成了相应的微波元器件（如100微米间距的圆锥形电极）。 接下来，我对样品进行了初步测试。首先，我们通过扫描电子显微镜（SEM）观察了YBCO薄膜的形貌，并发现其表面非常平整且没有明显的缺陷；其次，我们使用了磁性量子干涉仪（SQUID）对样品进行了磁滞回线测试，并发现其临界温度（Tc）约为90 K；最后，我们使用了微波测试仪对样品进行了微波性能的测试。测试结果表明，在77 K下，样品的S参数（即散射参数）约为0.6 dB。 总体来说，目前的研究能够满足文献中HTS-TWL的相关研究需求。接下来，我将继续进行测试和性能分析，并进一步考虑如何提高HTS-TWL样品的性能。