像差的预算范围确定方法、装置、存储介质及计算机设备.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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像差的预算范围确定方法、装置、存储介质及计算机设备.pdf

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本发明公开了一种像差的预算范围确定方法、装置、存储介质及计算机设备，应用于光刻系统。其中方法包括：获取多个目标泽尼克单项，其中，目标泽尼克单项为泽尼克多项式的多个泽尼克单项中，与光刻系统基于泽尼克多项式的曝光结果间的因果相关性满足第一预设条件的泽尼克单项；对泽尼克多项式进行拟合确定性筛选，在泽尼克多项式中确定出目标二阶耦合项，并基于目标泽尼克单项，获得目标泽尼克单项对应的高阶耦合项；基于目标泽尼克单项、目标二阶耦合项以及高阶耦合项，建立解析模型，并基于随机实验对解析模型进行拟合，得到拟合模型；基

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116819895 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310619748.9 (22)申请日 2023.05.29 (71)申请人中国科学院微电子研究所地址 1