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一种空间质谱计测量及校准装置.pdfVIP

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  • 2023-09-30 发布于四川
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一种空间质谱计测量及校准装置.pdf

    本申请涉及真空计量技术领域，具体而言，涉及一种空间质谱计测量及校准装置，包括高压气瓶、混合腔室以及超高真空腔室，其中：高压气瓶为多个，多个高压气瓶均与混合腔室连接；超高真空腔室包括依次连接的第一超高真空腔室、第二超高真空腔室以及第三超高真空腔室；混合腔室通过微调阀与第二超高真空腔室连通，通过截止阀与第一超高真空腔室连通；第一超高真空腔室的进口设置有脉冲弹簧阀和电离电极；第二超高真空腔室的进口设置有锥形孔，第二超高真空腔室的内部设置有脉冲电极；第三超高真空腔室内部设置有离子检测器。本申请不仅可以实

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115966454 A (43)申请公布日 2023.04.14 (21)申请号 202211671588.4 (22)申请日 2022.12.25 (71)申请人 兰州空间技术物理研究所 地址 73

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