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本发明提出了一种等离激元纳米团簇超表面生物传感器及其制造方法，传感器包括依次层叠的衬底层、纳米结构层和金属膜层，其中纳米结构层包括阵列排布的纳米孔洞和分布于纳米孔洞表面的纳米团簇，其在纳米孔洞结构之上大量分布更小尺寸的纳米团簇结构，从而实现粗糙的等离激元超表面。制造方法的具体步骤包括：提供衬底层，在衬底层上表面涂覆光刻胶，并在光刻胶表面形成阵列排布的纳米孔洞；通过刻蚀工艺向下刻蚀直至去除所述光刻胶，形成纳米结构层，纳米结构层包括阵列排布的纳米孔洞和分布于纳米孔洞表面的纳米团簇；在纳米结构层上形成
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116819068 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202310263160.4 G01N 21/55 (2014.01)
(22)申请日 2023.03.
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