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本发明涉及一种无机钙钛矿薄膜、其制备方法及太阳能电池，该方法包括如下步骤：S1：通过第一蒸镀处理形成第一薄膜；S2：将所述第一薄膜进行退火处理，得到第二薄膜；S3：通过第二蒸镀处理在所述第二薄膜上形成第三薄膜；以及S4：将所述第二薄膜和所述第三薄膜进行退火处理，制得所述无机钙钛矿薄膜；其中，在所述第一蒸镀处理中，用于蒸发的原料包括溴化铯和碘化铅；在所述第二蒸镀处理中，用于蒸发的原料包括碘化铯和碘化铅。本发明一实施方式的方法制得的无机钙钛矿薄膜，相较于现有的无机钙钛矿薄膜，提高了钙钛矿结构的相稳定
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116825860 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202210283223.8
(22)申请日 2022.03.22
(71)申请人 电子科技大学
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