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掩模板.pdfVIP

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  • 2023-10-01 发布于四川
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掩模板.pdf

    本公开的实施例公开了一种掩模板。掩模板包括多个遮光条，多个遮光条布置成网格状。掩模板包括掩模板正常曝光区域；以及由掩模板的侧边缘构成的并且与掩模板正常曝光区域邻接的掩模板拼接曝光区域。在掩模板拼接曝光区域与掩模板正常曝光区域之间具有分界线，多个遮光条包括位于掩模板拼接曝光区域并且交叉设置成网格状的多个第一遮光条和位于掩模板正常曝光区域并且交叉设置成网格状的多个第二遮光条，并且第一遮光条的宽度大于第二遮光条的宽度。采用根据本公开的实施例的掩模板，可以使基板拼接曝光区域的金属线的线宽与基板正常曝光区

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210573180 U (45)授权公告日 2020.05.19 (21)申请号 20192

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