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非晶硅微晶硅叠层电池的制备及性能研究的中期报告 非晶硅微晶硅叠层太阳能电池具有高效率、稳定性和低成本的优点，已经成为了研究的热点。本研究旨在制备一种新型的非晶硅微晶硅叠层太阳能电池，探究其制备过程和性能。 制备过程: 1. 在透明导电氧化锡（FTO）玻璃上，采用射频（RF）磁控溅射系统制备了一层厚度为300nm的氧化锌（ZnO）膜，作为电池的光电转换层。 2. 在ZnO膜上，采用射频（RF）磁控溅射系统制备了一层厚度为80nm的非晶硅（a-Si:H）膜，作为电池的吸收层。 3. 在非晶硅膜上，采用射频（RF）磁控溅射系统制备了一层厚度为120nm的微晶硅（μc-Si:H）膜，作为电池的传导层。 4. 采用电感耦合等离子体（ICP）刻蚀技术制备了一层厚度为50nm的金（Au）电极，以形成电池的正极。 5. 在玻璃片的另一侧涂覆了一层厚度为500 nm的铝（Al）电极，以形成电池的负极。 性能测试: 1. 光电转换效率（PCE）：在标准有光条件下，该电池的PCE为12.5％。 2. 开路电压（Voc）：该电池的Voc为0.93 V。 3. 短路电流密度（Jsc）：该电池的Jsc为25.7 mA / cm2。 4. 填充因子（FF）：该电池的FF为0.687。 研究结果表明，我们制备的非晶硅微晶硅叠层太阳能电池具有良好的性能表现。在日常实际应用中，这种电池可以有效地将光能转换为电能，实现