一种基于锯齿形结构的压电传感器及自供电振动监测装置.pdfVIP

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2023-10-04 发布于四川
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一种基于锯齿形结构的压电传感器及自供电振动监测装置.pdf

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本发明公开了一种基于锯齿形结构的压电传感器及自供电振动监测装置；该压电传感器其包括承压块、锯齿形压电薄膜和基体。锯齿形压电薄膜设置在承压块与基体之间。所述承压块与基体的相对侧面呈现相互匹配的锯齿状结构。锯齿形压电薄膜上形成多个与承压方向的法平面具有倾斜角度θ的倾斜压电膜单元。本发明在压电传感器中使用锯齿形压电薄膜，以及同样具有锯齿结构的基体以及承压块，使得压电传感器受压时锯齿形压电薄膜同时产生d31和d33方向的压电效应，当锯齿倾斜角度处于合理范围时，有助于在同等压力下增大锯齿形压电薄膜的输出信

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116839719 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310793976.8 (22)申请日 2023.06.30 (71)申请人浣江实验室地址 311816