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本公开涉及一种衬底背面清洗组件与衬底清洁装置，衬底背面清洗组件包括外壳以及多个喷嘴。外壳设有出口。由于喷嘴的数量不止一个，而是设置为多个，且在外壳的中部部位设有至少一个第一喷嘴，以及将各个第二喷嘴环绕第一喷嘴的周向依次间隔设置，每个第二喷嘴的喷出部的喷射方向与第一喷嘴的中心轴线呈锐角设置。这样各个喷嘴工作时，第一喷嘴将清洗液经出口喷射至衬底背面的中部部位，第二喷嘴将清洗液经出口同步喷射至衬底背面的外围部位，减小了重力作用对清洗液的影响，使得对衬底背面的各个部位的清洁效果较为均匀，从而能减小清洗盲
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116833138 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202310797895.5
(22)申请日 2023.06.29
(71)申请人 长鑫存储技术有限公司
地址 23
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