一种高沸物回收方法.pdfVIP

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2023-10-04 发布于四川
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一种高沸物回收方法.pdf

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本发明提供了一种高沸物回收方法，涉及多晶硅技术领域，其包括：步骤S1、将高沸物雾化或汽化，得到雾化高沸物或汽化高沸物；步骤S2、将雾化高沸物或汽化高沸物裂解成包括三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅和低沸物的混合物；步骤S3、将步骤S2得到的混合物进行冷凝；步骤S4、将经过步骤S3冷凝后的混合物精馏；其中，在步骤S2中，裂解雾化高沸物或汽化高沸物时，将雾化高沸物或汽化高沸物送入等离子体反应器中。雾化高沸物或者汽化高沸物进入等离子体反应区域中后，通过高温的作用，打断其中不稳定的硅‑硅键，在断链的分子上接

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116835599 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310805413.6 (22)申请日 2023.07.03 (71)申请人四川永祥能源科技有限公司地址