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本发明提供了一种光纤传感式纳米级水平仪，沿光束传输方向依次包括：宽带光源、光纤耦合器、光纤传感探头、光谱仪和解调模块，光纤耦合器连接宽带光源、光纤检测探头和光谱仪；光纤传感探头包括密封盒、若干单模光纤和液体，液体位于密封盒内，密封盒的上表面上设有若干通孔，单模光纤与通孔一一对应，单模光纤的入光端穿过通孔，出光端位于密封盒内，将光输出到自由空间，液体的液面用于反射光学信号，出光端、液体的液面以及空气形成FP光学干涉腔，当光信号传输到入光端面时，一部分光发生反射，另一部分光传输至液体的液面被再次反射
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116839544 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202310815132.9
(22)申请日 2023.08.02
(71)申请人 江苏大学
地址 212013
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