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本发明公开了一种基于模态耦合频率自调整的模态局域化静电计，基于模态耦合机制，改变低频谐振梁的振动幅值，动态调控模态局域化谐振梁的共振频率，将高频谐振梁的振幅比限定在线性区间，解决谐振器灵敏度出现非线性的应用问题，并利用静电力实现谐振梁之间的耦合，实现灵活的耦合强度控制，进而实现幅值比线性工作带宽的灵活拓展；本发明具备不引入热噪声、实时性优异和调控精度高等优点，配合大幅度拓展的线性工作带宽，使得基于模态局域化原理的静电计的测量精度、量程等指标得到显著提升。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116840582 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202310806821.3
(22)申请日 2023.07.03
(71)申请人 西北工业大学
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