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一种耐蚀多元掺杂类金刚石涂层，它由Cr过渡层、掺杂铬的类金刚石层(Cr‑DLC层)和掺杂硅元素的类金刚石层(Si‑DLC层)构成。其制备方法包括：(1)基体预处理；(2)基体表面氩离子清洗和靶材预溅射；(3)采用磁控溅射法制备Cr过渡层；(4)采用非平衡多靶磁控溅射法制备Cr‑DLC层；(5)采用非平衡多靶磁控溅射法在Cr‑DLC层上沉积Si‑DLC层；(6)重复(4)和(5)的操作得到Cr‑DLC和Si‑DLC多层交替的涂层。本发明的耐蚀多元掺杂类金刚石涂层具有高耐磨蚀性能。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116837333 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202310601926.5
(22)申请日 2023.05.26
(71)申请人 南京航空航天大学
地址 2100
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