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一种分光分色瑕疵检测装置.pdfVIP

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  • 2023-10-04 发布于四川
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一种分光分色瑕疵检测装置.pdf

    本实用新型涉及工业产品的瑕疵检测技术领域，具体为一种分光分色瑕疵检测装置，包括光源、第一分光镜、第一滤波片、第一镜头、第一面探测器、第二分光镜、第二滤波片、第二镜头、第二面探测器、平面镜、第三滤波片、第三镜头、第三面探测器、计算机、固定平台和工件，所述光源发出的光经过第一分光镜、第一滤波片、第一镜头和第一面探测器作为光路A；所述光源发出的光经过第二分光镜、第二滤波片、第二镜头和第二面探测器作为光路B；所述光源发出的光经过平面镜、第三滤波片、第三镜头和第三面探测器作为光路C。通过三光路同时进行曝光

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219799264 U (45)授权公告日 2023.10.03 (21)申请号 202321090112.1 (22)申请日 2023.05.09 (73)专利权人 七海测量技术 （深圳）有限公司

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