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本发明公开一种氧化镁部分稳定氧化锆浆料及其制备方法和应用，称取氧氯化锆晶体溶于去离子水中，加入六水氯化镁形成氯化物混合溶液；向混合溶液中滴加过量的氨水，使氢氧化锆、氢氧化镁沉淀后，离心并反复热水洗涤；干燥并高温煅烧，再加入分散剂和湿磨溶剂球磨；干燥后，筛选合格的粉体配制成水溶液，加入分散剂超声震荡；用氨水调pH，持续搅拌即获得所述浆料。本发明工艺简单，可操作性较强，样品流动性和分散性较好，可以有效地抑制GaSb衬底在研磨过程中因磨粒堆积产生的应力集中而引起的边、角碎裂和裂纹问题，大大提升了GaS
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116835638 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202310726592.4 B24B 37/34 (2012.01)
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