一种EPI外延工艺燃烧一体化尾气净化处理设备.pdfVIP

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2023-10-04 发布于四川
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一种EPI外延工艺燃烧一体化尾气净化处理设备.pdf

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本申请涉及一种EPI外延工艺燃烧一体化尾气净化处理设备，属于尾气净化技术领域，其包括进料管、冲洗组件、水解箱、水解喷淋组件、加热塔、冷却水箱和冷却塔，进料管用于通入尾气，冲洗组件用于对管内壁进行冲洗；进料管与水解箱连通，水解箱内设有清水，水解喷淋组件用于向水解箱喷淋，加热塔与水解箱连通，冷却水箱、加热塔和冷却塔均连通，氢气从水解箱移动至加热塔后经加热达到燃点，冷却塔对经燃烧后的氢气进行降温，冷却水箱内设有冷却循环组件，冷却循环组件用于实现加热塔、冷却水箱以及冷却塔之间的水循环，当设备运行时内部为

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116832596 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310754241.4 (22)申请日 2023.06.25 (71)申请人常州诚鉺正环保技术有限公司地址