具有位于支撑柱阵列上方的周边电路的三维存储器装置及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-10-04 发布于四川
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具有位于支撑柱阵列上方的周边电路的三维存储器装置及其制造方法.pdf

一种三维存储器装置包含:第一绝缘层和第一导电层的第一交替堆叠,其位于衬底上方;存储器堆叠结构,其延伸穿过所述第一交替堆叠;第二绝缘层和第二导电层的第二交替堆叠,其位于所述衬底上方且与所述第一交替堆叠横向间隔开;触点层级电介质层,其上覆于所述第一交替堆叠和所述第二交替堆叠;平坦半导体材料层,其接合到所述触点层级电介质层且在所述第二交替堆叠的区域上方;以及场效应晶体管,其位于所述平坦半导体材料层上且电连接到所述第一导电层。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116848963 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202180089349.5 (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理

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