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一种航天材料二次电子发射系数测试系统，包括进样室、进样室样品台、过渡通道超高真空插板阀、低能电子中和枪、低能电子入射枪、紫外中和光源、分析室、多层栅网探测器模块、离子泵超高真空插板阀、控制系统、离子泵、钛升华泵、可控温多维移动样品台、分子泵、涡旋泵、分子泵超高真空插板阀、安装台座以及磁力耦合传输杆。进样室和分析室均为超高真空工艺制造而成的真空容器，其上预留观察窗、真空测量、抽气泵组、腔室复压、线缆穿舱等各类接口，二者通过过渡通道超高真空插板阀实现通断连接，进样室和分析室均安装于安装台座上，并在旁
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116840277 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202310734362.2
(22)申请日 2023.06.20
(71)申请人 北京卫星环境工程研究所
地址 1
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