键合装置以及键合方法.pdfVIP

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2023-10-04 发布于四川
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键合装置以及键合方法.pdf

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本申请提供一种键合装置以及键合方法，键合装置包括承载台以及固定组件；承载台包括键合区域；固定组件包括两个第一压爪以及至少一个第二压爪，两个第一压爪分别位于键合区域的相对两侧，第二压爪位于键合区域的与第一压爪相邻的一侧；本申请通过将待键合的芯片放置于承载台的键合区域内，采用固定组件对待键合的芯片进行固定，由于固定组件的两个第一压爪分别位于键合区域的相对两侧，第二压爪位于键合区域的与第一压爪相邻的一侧，所以可以对待键合的芯片形成至少三点支撑，且可以适配各种尺寸的待键合的芯片，既能够节约成本，又能够有

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116845025 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310804324.X (22)申请日 2023.06.30 (71)申请人武汉光迅科技股份有限公司地址