光谱分光元件、组件、制备方法及光学设备.pdfVIP

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2023-10-04 发布于四川
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光谱分光元件、组件、制备方法及光学设备.pdf

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本发明提供的一种光谱分光元件、组件、制备方法及光学设备，该方法包括：将入射复合光划分为多个不同光谱波段的子光束，并预设各子光束在输出平面的聚焦位置；根据各子光束的光谱波段，基于矢量衍射算法获取与各子光束对应的子光谱分光元件的相位分布；将各子光谱分光元件的相位分布叠加，获取光谱分光元件的相位分布；根据光谱分光元件的相位分布制备光谱分光元件。本发明有效解决了光谱分辨率低、衍射效率低以及体积较大等问题，制作方便，可以实现对复合光的超多波段分光，便于在小型光学器件中集成。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116841056 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310904643.8 (22)申请日 2023.07.21 (71)申请人广州睿芯微电子有限公司地址 5