原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一种无金属电极高次谐波体声波谐振器及制备、性能测试方法，谐振器包括厚衬底以及外延生长在厚衬底正面的复合压电换能器，复合压电换能器包括由上而下依次布置的顶电极、压电层、底电极形成的三明治式堆栈结构；所述顶电极是第一二维电子气层；所述压电层是具有压电效应的压电GaN层；所述底电极由重硅掺杂的GaN层或第二二维电子气层形成，所述第一二维电子气层、第二二维电子气层均是AlGaN/GaN半导体异质结界面处所产生的。本发明无需任何金属化的结构，消除了金属电极带来的能量耗散，提高了谐振器的Q值，同
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116846359 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202310807565.X
(22)申请日 2023.07.03
(71)申请人 上海交通大学
地址 200240
文档评论（0）