《金刚石制备 微波等离子体化学气相沉积设备》.pdfVIP

res 11. 040. 1o CCS N 69 T 准 团 体 标 T/CAQI XXXX—xxxx 金刚石制备 微波等离子体化学气相沉积 设备 Diamond preparation—Microwave plasma chemical vapor deposition equipment （征求意见稿） 在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。 2023 - xx- xx 发布 2023 - xx- xx