基于BST薄膜的非制冷红外单元探测器研究的中期报告.docxVIP

基于BST薄膜的非制冷红外单元探测器研究的中期报告 本次研究旨在基于BST（Ba1-xSrxTiO3）薄膜材料开发一种非制冷红外单元探测器。本报告为中期报告，主要介绍研究进展和结果。 研究进展： 1. BST薄膜制备：通过溶胶-凝胶方法制备出厚度为200 nm的BST薄膜； 2. 薄膜结构和性质表征：采用X射线衍射、原子力显微镜、场发射扫描电镜等技术对薄膜的晶体结构和表面形貌进行了分析。结果表明，薄膜为多晶结构，晶粒尺寸约为40 nm，表面平整且无明显缺陷； 3. 探测器制备：将BST薄膜和Si基底贴合，制备出探测器样品。样品经过光刻、蒸散金属等工艺，形成4个相邻的探测单元； 4. 探测性能测试：使用黑体源和可调式半波片对探测器进行测试。结果表明，探测器在环境温度下具有较高的探测灵敏度和较低的噪声等特点。 研究结果： 1. 成功制备出厚度为200 nm的BST薄膜，并得到了良好的晶体结构和表面形貌； 2. 成功制备出基于BST薄膜的非制冷红外单元探测器，该探测器在环境温度下具有较高的探测灵敏度和较低的噪声等特点。 下一步研究方向： 1. 进一步优化薄膜制备工艺，提高薄膜的晶粒尺寸和结晶度，提高探测器的性能； 2. 探索更多的探测器结构和形式，比如利用薄膜材料制备出微米尺度的探测器阵列，提高探测器的空间分辨率； 3. 进一步研究探测器的工作机理，深入理解薄膜材料对红外辐射的响应机制。