一种降温装置及降温系统.pdfVIP

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2023-10-08 发布于四川
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一种降温装置及降温系统.pdf

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本实用新型公开了一种降温装置及降温系统，降温装置包括承载硅片的硅片载具、搬运所述硅片的机械手、安装在所述机械手上对所述硅片表面进行清理及降温的吹气组件、提供高压气体给所述吹气组件的气路组件。本实用新型提出的降温装置及降温系统，其吹气组件固定在机械手上可随着机械手动作，可有效清除硅片表面附着的制绒残液，并使得硅片的温度降低，避免硅片绒面造成局部破坏，有效的提高了产品的质量和可靠性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210607299 U (45)授权公告日 2020.05.22 (21)申请号 20192