一种用于制作高质量铸锭单晶的新型热场.pdfVIP

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2023-10-08 发布于四川
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一种用于制作高质量铸锭单晶的新型热场.pdf

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本实用新型公开一种用于制作高质量铸锭单晶的新型热场，包括坩埚、隔热板以及侧加热器；其中，所述隔热板设置在所述坩埚外且将坩埚围住，所述侧加热器通过连接板设置在坩埚的外侧，所述侧加热器的宽度为220‑240mm，所述连接板设置在隔热板的内侧；所述坩埚的底部设有热交换块，该热交换块的侧部设有护毡，且该热交换块的顶部与侧加热器的距离为150‑160mm；所述隔热板的底部边缘处设有挡火条，该挡火条与热交换块的水平距离为15‑25mm。本实用新型有效地降低单晶硅的位错密度和侧部长晶，减少顶部缺陷，提高了铸锭

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210620995 U (45)授权公告日 2020.05.26 (21)申请号 20192