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本实用新型公开了硅片清洗领域内的一种金刚线切割硅片降低污片风险装置，包括第一鼓泡漂洗槽、第二药剂漂洗槽、第三药剂漂洗槽、第四药剂漂洗槽、第五超声漂洗槽、第六溢流漂洗槽、第七溢流漂洗槽和第八溢流漂洗槽，所述第一鼓泡漂洗槽的上方对应设置有可移动的多晶硅片托架，第五超声漂洗槽的下方设置有蓄水槽，所述蓄水槽上设置有进水口、出水口一和出水口二，所述第六溢流漂洗槽包括漂洗区和溢流区，所述第五超声漂洗槽包括漂洗区和溢流区，所述第六溢流漂洗槽溢流区经进水管与蓄水槽进水口相连通，出水管一端部与第五超声漂洗槽漂洗区
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210614504 U
(45)授权公告日
2020.05.26
(21)申请号 20192
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