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薄膜桥压式氢气氛传感器.pdfVIP

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  • 2023-10-09 发布于四川
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薄膜桥压式氢气氛传感器.pdf

    本实用新型公开了薄膜桥压式氢气氛传感器，包括依次设置的基底层、绝缘层、阻挡层与敏感电阻层；所述敏感电阻层设置有敏感电阻桥路；所述敏感电阻桥路包括氢敏感元件与温度补偿元件；所述阻挡层设置于温度补偿元件上下两侧层面，用于隔绝氢气和所述温度补偿元件；所述基底层用于绝缘层载体；所述绝缘层用于基底层隔离。本实用新型薄膜桥压式氢气氛传感器能够成倍增敏并自带温度补偿功能，能够适用于微间隙测量，减小了环境交叉干扰。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210626387 U (45)授权公告日 2020.05.26 (21)申请号 20192

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