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- 2023-10-11 发布于四川
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本发明公开一种加速模式与减速模式切换装置及包含其的离子注入机，装置包括：加速机构和减速机构，加速机构包括加速电极、通道和加速电源，加速电极均布在通道外，加速电极与加速电源连接，以实现通道内的束流加速；减速机构包括减速组件、转动副和减速电源，减速组件分别连接转动副和减速电源，转动副驱动减速组件摆动，以接触或远离加速电极；减速电源的电压方向与加速电源相反，进行束流减速时，断开加速电源，减速组件将减速电源提供的电能传递至加速电极，实现通道内的束流减速。本发明具有结构紧凑、原理简单、束流能量低时束流大等
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116867159 A
(43)申请公布日 2023.10.10
(21)申请号 202310685427.9
(22)申请日 2023.06.09
(71)申请人 北京烁科中科信电子装备有限公司
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