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一种基于数字光阑调制的刀口法环带误差定量检测方法，首先将刀口仪沿待测光学元件主光轴方向移动，同时采集刀口阴影检测图。然后对待测镜面产生的轴向多幅刀口阴影检测图进行子环带分割，通过每个环带对应图像灰度沿轴向的演变特性来确定该环带对应的轴向焦点位置，从而实现整个面形的定量化求解。该数字化数字光阑加设方法优化了传统实体光阑受限于只有在固定位置开缝进而不能灵活使用且增加系统复杂度的问题，为光学车间检测提供了一种定量化检测的新思路，优化了光学加工与检测的效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116852177 A
(43)申请公布日 2023.10.10
(21)申请号 202310705053.2
(22)申请日 2023.06.14
(71)申请人 中国科学院上海光学精密机械研究
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