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本发明属于惯性仪表与超精密加工技术领域，解决石英半球谐振子高质量加工问题，本发明涉及基于超快激光电子动态调控加工半球谐振子系统及方法，方法为：制备毛坯料；对毛坯料预清洗，去除毛坯料表面的污物：将清洗后的毛坯料置于精密五轴电控平移台上固定，开启并调整上述系统，将调整为脉冲序列的激光聚焦到熔融石英棒料表面，控制超快激光脉冲序列的加工参数和棒料的加工位置，加工出满足预设需求的石英半球谐振子；将加工成型的石英半球谐振子在腐蚀溶液中进行短时浸泡，得到最终满足装配条件的石英半球谐振子。本方法通过超快激光脉冲
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116851910 A
(43)申请公布日 2023.10.10
(21)申请号 202310732450.9 B23K 26/046 (2014.01)
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