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本发明公开了一种晶圆清洗干燥装置，涉及晶圆干燥技术领域，包括转盘、第一流体盘和第二流体盘，所述转盘上设置有用于固定晶圆的夹持机构，所述夹持机构包括轴向移动环、往复驱动件、至少三个第一夹持头，以及至少三个第二夹持头；所述轴向移动环滑动装配于转盘上并仅能沿转盘的轴向滑动；所述往复驱动件用于驱动轴向移动环沿转盘的轴向方向往复滑动；至少三个第一夹持头和至少三个第二夹持头沿圆周方向间隔并固定在轴向移动环上。本发明通过夹持机构的设置，进一步地提高现有技术晶圆清洗干燥装置的干燥效果和干燥效率，同时使晶圆被夹持
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116864425 A
(43)申请公布日 2023.10.10
(21)申请号 202311138308.8
(22)申请日 2023.09.05
(71)申请人 山东汉旗科技有限公司
地址 27
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