原创力文档- 11
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- 2023-10-11 发布于四川
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本发明公开了一种电子级六氟化钨纯化装置，包括：加热管，用于将六氟化钨混合气加热至150℃‑400℃；缓冲罐，其一端与所述加热管相连通，另一端设置有连通管；还原塔，其底部与所述连通管相连通，顶部设置有排气管；以及填料管，且设置于所述还原塔中，且为透气结构并使得六氟化钨混合气仅能够穿过填料管从排气管排出，所述填料管中填充有钨粒，所述填料管能够根据六氟化钨混合气的进气量自动排出已使用的钨粒并填充补充新的钨粒。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116854139 A
(43)申请公布日 2023.10.10
(21)申请号 202310963982.3
(22)申请日 2023.08.01
(71)申请人 南大光电 （乌兰察布）有限公司
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