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本发明公开的属于真空等离子处理设备配件技术领域，具体为真空等离子处理设备移动式电极，所述支架上从上向下均匀安装有多个放置板，所述支架前端左右两侧均通过螺栓连接有导电板，所述导电板与放置板前端接触，所述导电板下侧安装有电极母头，所述电极母头包括电极座、连接座和弹片，所述电极座后端设置有连接座，所述连接座固定在导电板上，所述电极座前端沿电极座轴线均匀开设有多个第一螺纹孔，所述电极座中部开设有放置腔，采用移动式电极，此移动式电极内设置有弹片，增加了正负电极的接触面，相比现有技术，设备放电更加均匀、处理
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116864362 A
(43)申请公布日 2023.10.10
(21)申请号 202310823820.X
(22)申请日 2023.07.06
(71)申请人 深圳市奥普斯等离子体科技有限公
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