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本发明涉及一种电子级六氯乙硅烷的合成及精制的方法，具体是，将三氯硅烷原料与保护气进入原料缓冲罐混合，得到的混合气在紫外光光源的照射下发生催化合成反应，反应得到的产物进行冷凝分离，气相的三氯甲烷返回原料缓冲罐继续参与合成反应，冷阱中的混合液升温汽化，经过两部精制得到六氯乙硅烷，产物六氯乙硅烷纯度可达电子级。本发明以三氯硅烷为初始原料，原料价格低廉；以光催化作为合成工艺，合成工艺简单，反应收率高，节能环保；使用两步法对产物进行精制提纯，提纯深度高、提纯效率高，适合大规模生产，打破国外企业垄断有重要的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116854099 A
(43)申请公布日 2023.10.10
(21)申请号 202310733915.2
(22)申请日 2023.06.20
(71)申请人 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限
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