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本发明公开了一种半导体表面的DLC涂层的脱除方法，包括：将预先配制的清洗液注入超声波槽内，并将清洗液的温度控制在25℃～35℃；将表面镀有DLC涂层的半导体放置在超声波槽内，并完全浸泡于清洗液中；采用超声波对半导体表面的DLC涂层进行脱除处理；判断脱除处理后的半导体表面的颜色与脱除处理前的半导体表面的颜色是否相同；若颜色相同，则重新采用超声波对半导体表面的DLC涂层进行脱除处理，并判断脱除处理后的半导体表面的颜色与脱除处理前的半导体表面的颜色是否相同，直至判定颜色不相同时为止；若颜色不相同，则确
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116864372 A
(43)申请公布日 2023.10.10
(21)申请号 202210310232.1
(22)申请日 2022.03.28
(71)申请人 东莞新科技术研究开发有限公司
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