一种阳离子型双光子光刻胶及其图案化方法.pdfVIP

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2023-10-11 发布于四川
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一种阳离子型双光子光刻胶及其图案化方法.pdf

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本发明公开了一种阳离子型双光子光刻胶及其图案化方法。所述阳离子型双光子光刻胶含有环氧树脂、活性稀释剂、光酸型引发剂和敏化剂；所述的环氧树脂选自下列至少一种：苯酚型酚醛环氧树脂、邻甲酚型酚醛环氧树脂、双酚A型酚醛环氧树脂、四酚基乙烷四缩水甘油醚环氧树脂；所述的敏化剂选自下列至少一种：2‑异丙基硫杂蒽酮、5‑硝基苊、7‑二乙氨基‑3‑噻吩甲酰基香豆素、苯并蒽酮、9‑苯基吖啶、苯并噻唑、N‑乙烯基咔唑和酚噻嗪。本发明提供的阳离子型光刻胶的灵敏度高，既满足了高速刻写的需求，也不需要复杂的敏化剂合成步骤；

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116859668 A (43)申请公布日 2023.10.10 (21)申请号 202310703748.7 G03F 7/00 (2006.01)