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本发明提供了一种碳化硅晶圆粗磨液，包括以下质量百分数的组分：金刚石粉末1％‑2.0％、悬浮防沉剂0.3％‑0.8％、分散稳定剂1％‑5％、pH调节剂1％‑10％、润湿剂0.3％‑1％、螯合剂1％‑4％，溶剂为水；所述金刚石粉末粒径小于3.3μm的金刚石粉末含量占金刚石粉末总量的50％；并且所述金刚石粉末粒径大于3.3μm的金刚石粉末含量占金刚石粉末总量的50％；并且所述金刚石粉末粒径大于7.3um且小于10μm的金刚石粉末含量占金刚石粉末总量的3％，并且所述金刚石粉末粒径小于等于7.3um占金刚
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116855177 A
(43)申请公布日 2023.10.10
(21)申请号 202310829305.2
(22)申请日 2023.07.07
(71)申请人 长沙岱华科技有限公司
地址 41
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