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本发明属于光电薄膜材料技术领域，具体涉及一种红外透明导电薄膜材料及其制备方法，不同于传统的引入润湿层来提高表面能以便提供更多成核位点来提高薄膜粘附性的方法。该方法以材料本身作为晶种层，对其进行原位退火来促进晶种层结晶性以及晶粒尺寸的提升，同时把这层晶种层当作优良模板，以实现后续生长出来的薄膜具有更好的薄膜质量，提高其电学与光学性能。与传统方法相比较，该方法更注重于晶种层对于薄膜的生长起到一个指导的作用，同时也因未引入金属层等润湿层，对于薄膜本身的光学透射性能也不会产生负面影响。运用该方法生长出的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116855907 A
(43)申请公布日 2023.10.10
(21)申请号 202310831274.4
(22)申请日 2023.07.07
(71)申请人 吉林大学
地址 130000
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