一种薄液膜核态沸腾相变冷却结构及其制造方法.pdfVIP

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2023-10-11 发布于四川
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一种薄液膜核态沸腾相变冷却结构及其制造方法.pdf

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本申请实施例提供了一种薄液膜核态沸腾相变冷却结构及其制造方法，包括：在第一衬底上形成沸腾腔结构。从第二衬底的第一表面刻蚀第二衬底，形成多个凹槽。从第二衬底的第二表面刻蚀第二衬底至凹槽，形成多个孔道。在第一表面形成纳米针状结构，利用表面疏水硅烷偶联剂修饰纳米针状结构，形成超疏纳米针状表面结构。超疏纳米针状表面结构和孔道构成超疏多孔硅膜结构，结合沸腾腔结构和超疏多孔硅膜结构，这样液体就可以在沸腾腔结构和超疏多孔硅膜结构之间形成液膜，并且利用超疏多孔硅膜结构实现气泡脱离液膜并且排出。通过制造超疏多孔硅

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116864400 A (43)申请公布日 2023.10.10 (21)申请号 202311001464.X (22)申请日 2023.08.09 (71)申请人中国科学院微电子