一种周期弥散强化纳米多层碳基薄膜、其制备方法与应用.pdfVIP

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2023-10-11 发布于四川
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一种周期弥散强化纳米多层碳基薄膜、其制备方法与应用.pdf

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本发明公开了一种周期弥散强化纳米多层碳基薄膜、其制备方法与应用。所述周期弥散强化纳米多层碳基薄膜包括粘结层、过渡层以及强化层；粘结层包括粘结金属；过渡层包括粘结金属以及非晶碳；强化层包括周期性的第一亚层和第二亚层；第一亚层包括非晶碳；第二亚层包括非晶碳和掺杂相，掺杂相包括碳化物和/或氮化物，并周期性弥散镶嵌于所述第二亚层中。本发明提供的周期弥散强化纳米多层碳基薄膜有效降低了薄膜内应力并大幅提升了薄膜的韧性与机械性能，可有效改善碳基薄膜的热稳定性及其高温抗氧化性能，服役温度提高至550℃以上；本发

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116855906 A (43)申请公布日 2023.10.10 (21)申请号 202310778776.5 (22)申请日 2023.06.28 (71)申请人中国科学院兰州化学物理研究所地址