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本实用新型公开了一种三氯氢硅储存利用过程中氢气的循环系统，包括有精馏塔、第一中间储罐、第二中间储罐、还原炉，精馏塔的出口与进料泵的入口管线连接，进料泵的出口分别与第一中间储罐、第二中间储罐的入口管线连接，在第一中间储罐与第二中间储罐之间连通有连接管线，第一中间储罐、第二中间储罐的出口分别与屏蔽泵的入口管线连接，屏蔽泵的出口与还原炉的入口管线连接。优点：不仅可以对氢气进行充分的回收和循环利用，还能大大减少三氯氢硅与其他气体接触造成的品质问题及三氯氢硅的浪费，降低了成本；三氯氢硅打入第一中间储罐时排
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210656180 U
(45)授权公告日
2020.06.02
(21)申请号 20192
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