一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统.pdfVIP

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2023-10-13 发布于四川
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一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统.pdf

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一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统，主要包括：依次为进片腔室、过渡层沉积腔室、金属碳化物层沉积腔室和出片腔室；各个腔室的进出口均设有腔室阀门，腔室阀门将两侧的腔室相互隔开；样品传动装置穿过各个腔室内的底部，形成一条闭合回路；样品架设在样品传动装置上，带着样品从左至右依次穿过各个腔室。本实用新型采用非平衡磁场和平衡磁场的结合，对磁场方式，电源系统和靶基距的匹配优化，提高了金属碳化物涂层的结合性能和稳定性能；采用连续化的小型沉积设备，引入机械手等自动化设备实现对金属碳化物涂层的快速沉积，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210657123 U (45)授权公告日 2020.06.02 (21)申请号 20192