原创力文档- 1、本文档共20页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第三章 工艺与设计接口
1. 工艺对设计的制约与工艺抽象
1. 工艺对设计的制约
2. 工艺抽象
2. 设计规划
1. 几何设计规则
2. 电学设计规则
3. 设计规则在VLSI设计中的应用
1
3.1 工艺对设计的制约与工艺抽象
一条成 工艺线，各个工艺的参数都是一定的，
一般不允许轻易变更，而这些参数往往就成为我们设计
的制约因素。有时，我们不得不考虑：这条工艺线对我
的设计是否合适。
2
3.1.1 工艺对设计的制约
1. 最小加工尺寸和集成度对设计的制约
工艺加工的精度 （最小加工尺寸）限制了器件设计的最小尺寸、
电路的最高工作频率。
工艺线的最大加工面积限制了设计的规模。
2. 标准工艺流程对特殊工艺要求的制约
3. 工艺参数对设计的制约
第一个重要的参数是器件的阈值电压
第二个重要的参数是杂质层的电阻
第三个重要的参数是单位面积的电容值
阈值电压是决定系统电性能的基本参数，电阻、电容是决定
VLSI系统动态性能的重要参数。
3
3.1.2 工艺抽象
设计实践要求将工艺抽象成设计者熟悉的电学参数，将
工艺线的加工精度抽象成一个具体的规则设计规则
这样的抽象构成了工艺与设计的接口。
借助于这个接口，电路与系统的设计者不需要了解工艺
的具体细节，工艺制作者不需要了解电路与系统的细节。设
计者遵循接口规定进行设计，制作者保证工艺达到接口规定
的参数。
4
1. 掺杂浓度的描述
L L
R=
WX X W
j j
为材料的电阻率，单位是ohm.cm
图3.1 方块电阻 R □= （方块电阻，sheet ）
X
j
L
R= R
□
W
R= 8 R□
文档评论（0）