一种基于机械臂的大口径平面光学元件表面缺陷扫描方法.pdfVIP

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2023-10-14 发布于四川
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一种基于机械臂的大口径平面光学元件表面缺陷扫描方法.pdf

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本发明公开了一种基于机械臂的大口径平面光学元件表面缺陷扫描方法，采用自动定心和定域装置，自动定心和定域装置包括样品台、机械臂、安装在机械臂上的带有光谱共焦传感器和相机的探头、与光谱共焦传感器电连接的数据采集单元、与数据采集单元电连接的数据分析处理单元，以及用于接收数据分析处理单元的反馈并控制机械臂运动的控制单元；调平之后，通过采集三个边缘点的坐标自动进行定心和定域，然后根据光学元件的参数进行扫描。本发明简单易行，无需对传感器进行定标，不需要针对特定样品定制高精度导轨和样品自旋台，降低机械设计与装

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116879166 A (43)申请公布日 2023.10.13 (21)申请号 202310761160.7 (22)申请日 2023.06.27 (71)申请人浙江大学地址 310058